所谓无尘室并非绝对无尘。按照标准的规定,Class100(百级无尘室)要求一立方英尺的空间内空气中直径为0.5微米的尘粒不得超过100颗; 同理,Class10 (10级无尘室)要求一立方英尺的空间内空气中直径为0.5微米的尘粒不得超过10颗。 对于硬盘HDA生产而言,百级无尘室即可满足要求,而更高等级的10级无尘室通常用于生产晶元等更高精度的产品。
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