微电子行业的制造车间一般都是恒温(摄氏25℃),恒湿(湿度50%)的。因为这样不仅工作环境对于操作人员来说很舒适,最主要的也是由于微电子产品对于静电的敏感度很强,而温度和湿度对于静电的影响较大,所以必须考虑工作环境温度和湿度对产品质量的重要影响作用。
大家都知道静电是微电子产品的最大克星。那么温度和湿度又是怎样对静电产生影响的呢?
原因是:温度和湿度会直接影响被测物体的电特性。在温度和湿度都较低的条件下,物体的电阻会明显增大,使静电泄放速度缓慢,时间增加,在高湿度条件下,物体表面凝结或吸附一层薄薄的水膜。这种吸湿性增强了材料的导电性,对于那些能吸收水汽的材料尤其如此。
随着温度的升高,自由电的流动性增大,因此增强了材料的导电性,尤其是那些添加了碳黑、金属氧化物、金属或其他导电物质的材料。当温度较低的时候,材料会产生内应力,使其中的导电添加物之间距离增加,从而增大其电阻。因此,必须要了解湿度和温度。
在平常的现场案例中,较多的是体现在对于一些防静电产品的测试工作中。在湿度高的条件下测试,它可能会通过所有被测指标,但当用户购买了该防静电产品,并在低湿度或温度使用时,它可能会达不到要求,这样就会造成了不必要损失。
必须测量和记录温度/湿度的另一个原因是ANSI/ESD协会和欧洲CECC也承认环境温度/湿度的影响,并在他们制订的标准中要求必须测量和记录这些数据。
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