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建筑面积1415万m2，其中净化面积占1/3。 洁净度1级/100级(FS 209标准，关注粒径0.3 μm )。 装设容量10万kVA，相当于1座中等城市的用电量。 对于项目高投资、高能耗的特征，“合格评定”质量控制体系：在无需强制认证的场合和行业引到相当于认证的作用；有强制性认证的行业，可作为补充，在节能、节省投资、节约运行费有着不可替代的作用。 空气分子污染(AMC，Airborne Molecu—lar Contaminant) 这是洁净室技术新的“关注点”， 半导体工业12″晶圆片、193 nm制程引发AMC。所谓193nm制程，是指光刻技术的光源波长为193 nm，而光学光刻的极限分辨率可以达到光源波长的1/2。193 nm制程(半导体生产工艺)的最小“线宽”(即特征尺寸feature size)为0.1μm。使得制程环境污染的防治重点已由微粒particle转移至空气分子污染AMC。污染源的“来路”增加、成分复杂、浓度微量(气体)、控制困难。对洁净室是个受控环境的技术概念更为“凸显” 中国洁净技术起步于2O世纪60年代，受日本技术影响较深。长期以来，沿用的“技术概念”是“空气净化”或“洁净空调”，这本无可非议。然而，随着科技的进步，洁净技术已融入几乎所有的高科技领域，覆盖的应用面之广、涉及的学科之多、技术升级速度之快，大大超出人们的预料。刮目相看的同时，对洁净室、洁净技术需重新“认识”。目前国际上比较通用的技术概念：生产决定环境，洁净室就是生产所需的“受控环境” 洁净技术仅是控制环境的手段，而污染控制才是一切举措之目的。“空气净化” 与“环境受控”；“净化空调”与“受控环境”是两对不同的“技术概念”。 更多防静电产品详情请登录：蚂蚁防静电商城 www.esdm.cn 更多防静电技术、标准、解决方案请登录：防静电产品资讯网 www.esd.cn 详细资料请拨打：022-83719898 13602065352 4006-365-366 QQ:2278043702 相关文章：洁净室的分类大盘点 (责任编辑：鑫鑫) |
