洁净室在许多行业是必不可少的,但是对于微电子工业尤其的重要,产品的技术升级换代推动了洁净技术的不断进步。但是洁净室的静电防护始终是重中之重。因为在洁净室里生产的各类电器元器件,基本上都需要防静电,因为生产高性能要求的产品时,若有静电吸附,被吸附的微尘就成了击穿中心,就会使材料的绝缘特性下降等。元器件、设备、甚至墙面或地板上都可能随时产生静电荷,有了静电荷就有了静电吸附的现象,导致洁净室的洁净度的下降。同时,洁净度下降后,空气中的微粒数量增加,这样更加剧了静电吸附现象的发生。
身穿洁净服的工人在洁净室有序的工作
因此洁净室在关注污染控制的同时也应注意防止静电,从目前的经验来看,从以下三方面控制是最有效和最经济的。
1、洁净室建造材料需要防静电 在设计和选择材料时就选用不易产生静电,或产生静电能迅速泄漏的材料。设计洁净室时已经不局限于防静电地板了,对洁净室隔断、墙壁及洁净的结构系统等都考虑在内。目前在设计时我们也会充分考虑到防静电的要求,如采用喷涂静电涂料、防静电喷剂等来作为辅助措施或补救方法来克服静电。使洁净室不产生或少产生静电。
2、利用洁净室的空气、温湿度来控制 空气湿度在RH50%左右或温度在23℃左右条件下,是良好的防静电环境。设计条件允许时尽量满足靠拢它。
3、消除人体带电 进入洁净室的人员必须穿防静电洁净服、穿戴防静电手套,穿防静电鞋等来消除静电。运输周转中的工具如小车,箱子也应采用防静电的产品。
静电在很多情况下是我们所不希望的,它在具有易燃易爆气体的场所极易导致危险。虽然静电在洁净室内引发火灾或爆炸的可能性较低,但是洁净室内的静电对电子产品静电放电产生的电击伤害是极大的,因此,洁净室静电的控制是不可忽视的。
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