常说的100级洁净室说的就是指在1立方英尺的空间内,大于等于0.5微米的粒子必须不多于100个,10级就是1立方英尺的空间,0.5微米的粒子必须不多于10个,1000级则不能多于1000个。目前对洁净室等级划分最常用的是美国联邦FS 209E标准 。
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