随着电子元器件不断向轻、薄、短、小、高密度、多功能等方向发展,IC的集成度越来越高。尤其是微电子器件,COMS IC中亚微米栅条宽度达到0.18μm,栅氧绝缘层厚度为几个nm甚至几十?,栅氧的击穿电压小于20V,对静电变得更加敏感。
另一方面,由于低成加工要求,作为静电主要来源的各种高分子材料被广泛采用,使静电的产生更加容易和广泛。静电对元器件应用造成的危害越来越明显,因此对静电防护技术的也提出了更高的要求。
1、器件的敏感度划分为1-7个等级早期的ESD标准仅将器件的敏感度简单地划分为2000V以下、2000-4000V、4000-16000V三个级别。而1998年以后无论欧洲还是美国的标准,都已经将敏感器件按照HBM、MM、CDM、SDM等不同的放电模型划分为4-7个等级的敏感度。静电防护日趋严密、细致和规范。
2、建立本企业的ESD防护标准一个企业的ESD防护水平能代表其对产品质量的控制。系统化、标准化、规范化的ESD防护体系已经成为欧美发达国家电子行业的普遍要求。IBM、HP、Siemens、Philips等所有的国际知名企业除了在自己的生产车间建有严密的ESD防护体系,并且都建立了自己的ESD防护标准之外,还要求合作厂商也严格按其标准实施。
3、利用场强计检测是否有可能产生ESD利用场强计检测是否有可能产生ESD危害的静电场的存在。测量是最稳定的方法,可以确认并量化那些真正需要静电保护的区域;另外,还可以确认那些不会产生ESD危害的区域,节省不必要的保护费用。
4、使用ESD监测器进行实时监测使用ESD恒定监测器,超出规定即自动报警。监测器可作为一个独立单元或连接网络使用,并有自动数据采集的网络软件,实时显示有关操作人员和工作的系统表现。
相关文章:防止静电的一般步骤
(责任编辑:小紫) |