对ESD控制没有便宜快捷的修补方法,关键是对ESD的控制,比如悬挂层流离子风机,或是在需要控制ESD的材料旁安装离子风机。随着芯片(IC)尺寸的减少,对ESD越发敏感。现在,对ESD的控制已不仅仅局限于对工作网络的保护,还需对晶片和生产晶片的人员进行控制。很多高标准要求的公司正在这样对ESD进行控制。
不利因素
污染控制设备的生产商和工厂相关人员都发现,部分电器制造商并不清楚由于ESD而带来的问题。这些问题也会给洁净室带来更多的污染。电器制造厂家忽视了这些问题。
最近,半导体光掩膜公司邀请静电专家帮助解决优率问题.直到静电专家到来,厂家才发现光掩膜上的异常是由于ESD引起的污染问题而造成的。在半导体生产中,最大的问题是掩光板上的ESD问题。它会引起微观结构的破坏,从而导致产品失效。
在电子生产中,ESD产生各种各样的问题。比如腐蚀或金属熔化等。
静电还会产生静电吸附,将空气中的尘粒吸附在产品,降低产品优率。
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(责任编辑:蚂蚁) |