三类ESD失效情况的对策 我们将引起ESD损伤的情况分为三类,对它们的分析和对策如表3所示。理论上讲,在这些措施中任意一个对于减少ESD损伤都有效,但实际上理想的效果很难达到。这是因为:首先,没有任何技术能够保证万无一失。抗静电剂会有一定的时效性,过期就会失效,此时接地会时好时坏,或完全断开。其次,某些措施可能限制一些防护措施的使用,或甚至将其完全排除在外。例如,卷盘包装的覆盖带的粘贴面必须使用绝缘材料,才能将与载带粘合在一起。 情况 操作 解决办法 A 1.移动时在表面产生静电 使用抗静电材料或在任意一个表面涂抗静电剂 2.将器件带到表面带静电物体的附近 物体表面使用耗散材料 保持空隙或/和使用屏蔽保护 3.器件在靠近表面带静电物体的附近时处于接地状态(CDM) 空气离子化处理 使用静电耗散材料 B 1. 由于运动让绝缘材料的器件包装产生静电。 包装材料使用抗静电材料或使用抗静电剂处理表面。 2.器件本身带静电 空气离子化处理 3.器件带静电后处于接地状态(CDM) 使用静电耗散材料 C 1.由于人的活动产生静电 手腕带接地。 2.人体带电 使用导电或静电耗散地板和鞋 3.接触器件将静电传递到器件 房间系统空气离子化 将器件隔离 使用静电耗散包装以减慢放电速度 使用导电材料分流静电 表3 三类常见的ESD情况及ESD控制措施 情况A。两个表面间的运动产生静电,敏感器件被放置在其电场中,而器件随后又进行了接地。接触的表面使用抗静电材料可以解决操作1的问题。表面所产生的静电可以通过静电耗散材料、空气离子化中和、使用空隙间隔或静电屏蔽来消除。操作3的问题,可以通过使用静电耗散材料来控制静电泄放的速度。 情况B。情况A中,可以有多种途径来解决操作3的问题,而情况B则不同,它是器件与其他材料接触后自身带电的情况。在情况A中,操作1的问题可以通过使用抗静电材料或静电耗散材料来解决,但对于情况B,器件本身的材料不可替换,不可能使用这两种材料来解决问题。要满足电路要求,制作器件的陶瓷或塑料材料须是高绝缘材料,同时对于防潮和防腐蚀也对材料提出了相应的要求。这些对于操作2问题的解决都有限制。此时器件包装上有静电荷,除非允许长时间,唯一的去除方法就是使用空气离子化。操作3问题是导致失效操作,唯一可行的保护办法就是避免导体接触放电的器件,而改用静电耗散材料与器件接触。 对于像工作台面这类大的材料,单独使用一个105–1012 Ω阻值的外接电阻并不是好的替代方法,这是因为离散电阻会产生寄生电容,它允许高频大电流,导致典型的CDM的静电损伤。 情况A和B由运动所导致,生产中经常会在器件的操作当中产生。我们所熟知的人为因素在这并不是ESD损伤的关键因素,而这些情况才是最大的静电损伤隐患,因为在生产过程中,它们会持续产生静电。 情况C。相比而言,在生产车间,人员接地容易做到,HBM风险会越来越少。但是,即便是在检查非常严密时,也偶尔会有操作员工不正确地使用手腕带,导致其失去作用的情况出现,因而,包装必须提供附加的保护。
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