对洁净室进行的测定发现，使用一次性布料的除尘系统对空间的污染程度是使用HEPA过滤真空吸尘器的两倍。虽然许多情况下必须采用抹布擦拭的办法，但是，吸尘器往往是最奏效的办法，因为微粒大都附着在机器的内部、基本上不会被排放到空气中。不过，并不是所有吸尘器都适用，选择合适的洁净室吸尘器必须考虑很多因素。
　　污染源
　　首先，最重要的一点是，确定洁净室常见的污染物有哪些，怎样避免它们进入洁净室。洁净室污染物常见的三个主要来源是：洁净室工作人员、材料和设备。
　　洁净室工作人员。当然，人是最普通而又最难控制的污染源。尽管在设计洁净服装和其他洁净室专用衣服时就考虑到要尽可能地减少人的污染，但我们不可能去限制那些根本无法控制的行为，例如打喷嚏和咳嗽。在通常情况下，人在工作时每分钟会在空气中产生大约一百万个尺寸超过0.5微米的有机微粒。在人为的污染方面，最好的处理办法是用抹布擦拭，这样可以有效地防止污染物进入洁净室。
　　材料。洁净室消耗品，例如手套、面罩、抹布、拖把、发网、无菌鞋、HEPA过滤器和有黏性的垫子，如果没有采取适当的预防措施，它们都有可能成为污染物的滋生地。例如，如果员工在进入洁净室之前没有把手套清洁干净，那么他们接触过的所有东西都会遭到污染，包括成品。修复这类受污染的东西的代价非常高。再者，所有在洁净室中使用的消耗品在进入洁净室之前都必须经过彻底的净化处理。
　　设备。另一个污染源是洁净室中现有的设备。设备的振动足以使微粒分解，然后进入空气中。
　　防止出现这类污染最有效的办法是尽可能使所有机器保持无尘，这就需要使用HEPA过滤吸尘器。
　　对吸尘器的要求
　　在为洁净室选择工业真空吸尘器时，很多人并没有意识到真空过滤系统的重要性。其实你真正需要的是超级过滤器而不是真空吸尘器，而且因为现有真空吸尘器的过滤系统之间的差别很大，所以在选择符合自己要求的吸尘器时，必须搞清楚自己到底需要什么。
　　首先，所有在洁净室中使用的真空吸尘器都必须具备HEPA过滤功能，保证过滤掉99.97%尺寸低达0.3微米的粒子。此外，HEPA过滤器必须装在马达后面、过滤排出来的气流，这一点非常重要。马达的换向器和碳刷会产生灰尘，而且如果排放出去的气流没有经过过滤，灰尘将直接进入洁净室环境。请注意：不是所有的HEPA过滤系统都一样。例如，多步分级的过滤系统使用一系列越来越越精密的过滤器，它们能够在微粒穿过吸尘器时捕获微粒。最大的粒子可以用比较普通的过滤器来捕获，而要想捕获更微小的粒子则要使用比较精密的HEPA过滤器。这种多级系统可以保护HEPA过滤器不会阻塞和过度磨损，保持最佳性能。(一旦配上ULPA过滤器，系统可以过滤所有超小粒子，最小为0.12微米，效率高达99.999%)。此外，如果你的吸尘器过滤系统使用的是特大号的过滤器，因通过较大表面积而放慢了气流的速度，从而优化了气布比。这样，吸尘器即使在超过正常的使用期之后也可以轻松地吸取体积较大的碎片而不需要很多的维护保养。
　　除了这些过滤系统，在洁净室中使用的吸尘器最好使用不会产生微粒的材料制造。例如，使用配有平滑的软管和连接件的无孔不锈钢吸尘器，工作人员就可以用抹布迅速地擦拭和清洁设备，更快、更简单地完成清洁和确认。虽然许多吸尘器可以耐受压热作用，但是在进行这个项目之前必须让吸尘器制造商先确认一下，否则，有可能会损坏设备。
　　在购买真空吸尘器时还必须考虑到溢出响应。至少有一个吸尘器可以进行干、湿两种作业。
　　中央吸尘系统和便携式吸尘器
　　在购买吸尘器时，制造商经常会遇到的另一个问题是，买一部中央吸尘系统还是买几台便携式吸尘器，哪一种更有效？下面将从正反两面深入分析这个问题，当你再做决定的时候可能会比较简单。
　　便携式吸尘器。便携式吸尘器比较适合用来清洁工作区的周边区域，这些地方人的污染比较严重，清洁人员可以在班次结束前有效地清洁他们所在的区域。许多便携式吸尘器在设计时就考虑到要能够进行干、湿两种作业，而中央吸尘系统只能够吸取干燥物料。它们的操作都很简单，便携式吸尘器经常用来清洁较偏僻的区域或者头顶上的区域，这些区域往往是中央吸尘系统够不着的地方。 (责任编辑：鑫鑫)