洁净室测试基本准则
时间:2014-10-17 08:51来源:防静电产品资讯网 作者:www.esd.cn 点击:
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洁净室的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到最低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
为证明洁净室工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求:
1.洁净室的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。
2.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到最低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
3.洁净室的送风不会显著增加室内的污染。
4.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
如果洁净室达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净室标准。
洁净室的测试:
1.送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。
2.各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:(1)各区间的压差正确;(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
3.过滤器检漏:对高效过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过:(1)损坏了的过滤器;(2)过滤器与其外框间的缝隙;(3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。
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