洁净室的空气净化处理
时间:2014-10-24 09:07来源:中国洁净室网 作者:张琳 点击:
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目前洁净室对送入空气的净化方法,主要和应用最为广泛的方法是空气过滤法,应根据空气洁净度等级要求和产品生产工艺的特殊要求,合理配置选用空气过滤器。
目前洁净室对送入空气的净化方法,主要和应用最为广泛的方法是空气过滤法,应根据空气洁净度等级要求和产品生产工艺的特殊要求,合理配置选用空气过滤器。对于 ISO 6级(1000级)和比 6级洁净度差的洁净室的净化空调系统通常采用三级空气过滤,即粗效、中效和高效过滤器;对于 ISO 5 级(100 级)和更严格的洁净室的净化空调系统中的空气过滤器的配置, 应根据洁净室的总体设计方案和所采用的净化空调系统的特点配置。比如某些大规模集成电路生产用控制粒径 0. 1μ m 、ISO 4级(10级)和更严格要求的洁净室中,采用新风集中处理,并在新风处理装置中设有粗效、中效(或中高效) 、亚高效甚至高效过滤器和化学过滤器或水喷淋装置等;在洁净室的循环风系统设有高效、超高效过滤器和化学过滤器等。当洁净度要求十分严格时,还在生产过程某些生产区或生产工序处设置微环境装置。
一般中效(中高效)空气过滤器集中设置在空调系统的正压段,以防止空气经过中效过滤器过滤后的污染物因负压而漏入,增加后续高效过滤器的过滤负荷。亚高效和高效过滤器作为末端过滤器一般设置在净化空调系统的末端; 超大型高效过滤必须设置在系统的末端。作为末端的高效过滤器一般均设在洁净室的顶棚上。为便于洁净室的风量分配,一般将阻力、效率相近的高效过滤器安装在洁净室,便于系统阻力平衡。
医院空气净化与工业洁净厂房有相似之处,即都包含着对于室内空气温湿度、压差、气流流型、送风量、净化处理的要求。另一方面,医院空气净化与一般工业洁净室最大的区别在于前者更强调生物净化的概念, 其关注的重点在于控制空气中的细菌浓度。
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