无尘手套的测试标准及方法

　　测试标准

　　由于高科技产品的精度越来越高，愈来愈多的产品被要求在相对洁净的无尘室中生产、包装、测试，如电脑的磁头、硬盘、LCD、数码像机、光学电子等行业。在这些行业中，会使用到大量的无尘室专用手套用于保护产品、人员、环境等。

　　由于高科技产品的精度越来越高，愈来愈多的产品被要求在相对洁净的无尘室中生产、包装、测试，如电脑的磁头、硬盘、LCD、数码像机、光学电子等行业。在这些行业中，会使用到大量的无尘室专用手套用于保护产品、人员、环境等。从污染的角度理解，人被视为洁净室内最大的污染物发生源，操作人员通过穿上特殊的服装系统来保护洁净室环境，免受人员产生的污染物的污染。手套作为这种服装系统的重要组成部分，不但具有充分的防护作用，同时不会污染受控环境中生产工艺的关键区域，所以手套的作用很关键。IEST-RP-005.3主要就手套的原料、生产、包装、测试等做了详细的规定。

　　到底该选用何种手套在无尘室中使用，IEST没有明确的规定，但是建议从产品的精度、无尘室的级别、成本核算等方面综合考虑。一般来说，如果是ISO 5级或以上的无尘室，建议使用丁腈橡胶手套；如果是生产晶圆、磁头、硬盘、光学仪器等应使用丁腈橡胶手套。

　　由于手套多数时候是和产品直接接触的，所以对其品质要求是非常严格的，IEST标准要求对生产后的手套，在使用前必须进行清洗以及测试合格后方可使用。测试主要分四部分：外观检查、物理测试、ESD性能测试、化学测试。下面主要介绍一下化学方面的测试。

　　要做化学测试，首先需要专门的仪器、环境、水源、辅助系统等支持，即需要建造一个实验室。这是一笔相当大的开支，多数企业不会选择自己做测试，选用专门的有资格的实验室测试是一个好的办法，不过需要付出一定的测试费用。

　　由于对产品的影响多是微观因素，即一些肉眼看不见的尘粒子、微生物等，所以测试手套也是从微观方面做出分析：

　　1.LPC测试（液态尘粒测试）：LPC测试是将被测物浸泡于DI水中，再进行1分钟的超声波震荡，将附着在被测物上的尘粒溶解于DI水中，然后计算DI水中液态尘粒的数量的方法。该测试是检查手套洁净度的一种重要测试方法，主要看手套会跌落多少对产品有影响的尘粒，如磁头行业，对于大于或等于0.5um的尘粒，不能超过3000个每平方厘米（@0.5um<=3000counts/cm^2）。

　　2.NVR（非挥发性残留物）测试：是测试手套上非挥发性残留物含量的一种测试方法，测试时，用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发，用微量天平称量残留物，即可得出手套上非挥发性残留物的含量。NVR超标可知手套表面有非挥发性残留物污染。在电脑硬盘行业，一般规定NVR<20ug/cm^2。

　　3.FTIR（傅立叶红外线光谱）测试：由于产品的要求，无尘室不允许有硅油、氨基化合物、DOP等物质存在，因为该些物质会影响到产品的质量。因此，对手套必须进行FTIR测试。测试时，用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发，将残留物作红外线光谱分析。这种方法可以分析出手套上是否残留有硅油、氨基化合物、DOP等。（注意：该测试的结果如果合格，则表示上述三种残留物没有超过敏感线，并不表示完全没有）。

　　4.IC（离子测试）：是将被测物浸泡于DI水中，再进行超声波震荡，将附着在被测物上的无机阴阳离子溶解于DI水中，然后再进行色谱分析的方法。IC测试可测出被测物上阴阳离子的种类，及每种离子的含量。该测试最常监控的离子是Cl-、NO3-、SO4-、PO4-等，一般总重量不能超过1.0（Total<1.0）。

　　5.GC（有机挥发物色谱测试）：是用来分析手套上有机污染物的种类和含量的一种方法。测试时，将手套加温到一定温度，使有机污染物挥发，将挥发出来的气体收集起来，进行色谱分析，可得出有机污染物的种类和含量，当GC测试超标时，说明手套上的有机污染物超标。一般在磁头行业其标准控制在10ug/g（Total：GC<10ug/g）。

　　以上测试是行业中最常规的几种测试，同时IEST还规定了如硫化氢测试、耐腐蚀测试、灰烬测试等，企业可以根据产品的需要做出适当的选择。