无尘室在实际的生产中一直占有着非常重要的地位,比如操作现场作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,会产生粒子,它如何才能达到可以测量其粒子浓度或微生物浓度呢?如果要想使无尘室测试的结果令人满意,无尘室必须满足下述准则的要求:
首先,无尘室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到最低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。其次,无尘室的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。再次,无尘室的送风不会显著增加室内的污染。最后,室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
但是一定要注意无尘室的保养,做到以下这些才能使无尘室发挥真正防尘的作用!那么无尘室内该如何保养才能起到最好的防尘效果呢?
1、各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须 检测:(1)各区间的压差正确; (2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
2、送风量与排风量:如果是紊流无尘室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流无尘室,则要测量其 风速。
3、空气过滤器检漏:对高效过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过。
4、隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入无尘室。
5、室内气流控制:气流控制测试的类型要依无尘室的气流模式——是紊流还是单向流而定。若无尘室气流为 紊流,则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流无尘室,则必须验明整个室内的风速和风向 是符合设计要求的。
6、悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述这些测试满足要求,则最后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进 行测量,以便验明其符合无尘室设计的技术条件。
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