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静电对微电子制造业的影响

时间:2013-06-06 08:29来源:防静电产品资讯网 作者:蚂蚁防静电 点击:
集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场和静电电流成为这些高密度元器件的致命杀手。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动,空气流动,搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶 片才对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感。

 

      随着技术的发展,集成电路元器件的线路更加缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力

的减弱,静电电场和静电电流成为这些高密度元器件的致命杀手。塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产

生静电的机会大增。日常生活中如走动,空气流动,搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片

才对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感。

 

A.静电对电子元件的影响

1. 静电吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响产品的功能与寿命。

2. 因电场或电流破坏元件的绝缘或导体,使元件不能工作(完全破坏)。

3. 因瞬间的电场或电流产生的热,元件受伤,仍能工作,寿命受损。

 

B、静电损伤的特点:

1. 隐蔽性人体不能直接感知静电,除非发生静电放电,但发生静电放电,人体也不一定能有电击的感觉。这

   是因为人体感知的静电放电电压为2-3KV。

2. 潜伏性有些电子元器件受到静电损伤后性能没有明显的下降,但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐

    患,而且增加了器件对静电的敏感性。已产生的问题并无任何方法可治愈。

3. 随机性电子元件什么情况下会遭受到静电破坏呢?可以这么说,从一个元件生产后一直到它损坏以前所有

    的过程都受到静电的威胁,而这些静电的产生也具有随机性。由于静电的产生和放电都是瞬间发生的,及

    难预测和防护。

4. 复杂性静电放电损伤分板工作,因电子产品的精细,微小的结构特点而费时、费事、费钱,要求较复杂的

    技术往往需要使用扫描电镜等精密仪器,即使如此有些静电损伤现象也 难以与其他原因造成的损伤加以区

    别,使人误把静电损伤失效当作其它失效,这是对静电放电损害未充分认识之前,常常归咎于早期失效或

    情况不明的失效 ,从而不自觉的掩盖了失效的真正原因。

5. 严重性ESD问题表面上看来只影响了制成品的用家,但实际上亦影响了各层次的制造商,如:保用费、维

    修及公司的声誉等等。

 

 

 

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(责任编辑:嬴心)
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