2）湿度：EPA内应装设有湿度调节装置,保持其室内相对湿度在45% ~75%范围内。采用准确度 优于±2%的湿度计测量EPA内的湿度,并在每日的同一时间测量和记录一次。

3）气压：EPA内大气压力应在86~106kPa范围内。不能满足上述要求时,应采取调压措施。

4）洁净度（必要时）：需使用洁净环境的EPA加工场所,厂房的空气洁净级别按有关工艺设计文件规定。

静电消除器：

在工作台面上方的适当部位或其他必要部位，应装设静电消除器，以消除未打开的包装件 上的静电荷和在操作过程中因人体、工具及其他物品相互摩擦在工件上所产生的静电荷。

接地：

EPA应具备满足其使用功能要求的防静电接地分系统，并通过大地电极分系统接到大 地。此外,EPA通常还需设置若干其他接地分系统,例如雷电保护、故障保护、信号参考等分 系统。

－防静电接地分系统：

EPA的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地坪防静电接地和操作装置、仪器的防 静电接地等。除个别指明需采用硬接地者外，一般采用软接地方式，其接地电阻可由外接电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。各种防静电接地的接地电阻要求见5.6条。

－接地安装注意事项：

1）防静电接地分系统可利用故障保护地线或信号参考地线（直流工作地线）作为接地母线。

2）不允许交流线路的走线与直流地线紧贴或平行铺设，以防对直流信号造成干扰。

3）各接地分系统的连线之间应当相互隔离，为此应使用带绝缘外皮的导线。

4）各接地干线之间的连接应采用钎焊、熔焊或压力连接件、卡箍等进行搭接连接。

5）防静电工具、装置等的接地端子允许使用易于装拆的各种夹式连接器，例如鳄鱼夹、 插头座等,但应确保电气连接可靠。

6）防静电工作台和装置、设备等的故障保护地线应采用最小截面积不小于1.25mm2 的多股敷塑导线j卜皮颜色为黄绿色。

各种器材、用具的静电性能：

1）ESD防护工作台面

     除非制造工艺要求需要使用导（静）电工作台面,EPA内的ESD防护工作台面应使用静电 耗散材料制成并接地良好。推荐工作台面尺寸为1200mm X600tnm。ESD防护工作台面的对 地电阻和表面(点对点）电阻要求见 表1。对地电阻测量原理按SJ/T10694的 图7，测量电表的 一端接到腕带接地插孔上，另一个电极距此0.9m, 测量5个点（测量电极以0. 9m为半径绕接 地插孔旋转移动），取其平均值。表面（点对点）电阻测量原理按SJ/T10694的图6a, 二测试电 极相距0.9m,共测量5组数据取平均值。测量时一个电极不动，另一电极以0.9m的半径绕 固定的电极旋转移动。

表1 EPA内各种器材的静电性能要求 (详见标准全文)  

2）ESD防护地板、地垫：

    除非制造工艺要求需要使用导（静）电地板，EPA应采用静电耗散地板或地垫并接地良 好,其对地电阻和表面（点对点）电阻的要求见表1。对地电阻的测量原理按SJ/T 10694的图 5=表面（点对点）电阻的测量原理按SJ/ T10694的图4，每4m2随机抽取5点并取中心对四角 4次测量结果的平均值，测量点距地板的边缘不得小于100mm。

3）ESD防护腕带、鞋束（足跟带）：

     在ESD防护工作台面的二个角落上应配置供腕带接地用的插孔(即EBP)二个，一个供操 作人员使用，另一个供其他相关人员使用。

腕带内表面（与手腕的接触面）对地电阻应符合表1的规定，其测量原理及方法按SJ/T 10694 第 6.9.1 条。

在腕带被佩戴情况下，对地电阻应符合表1的规定，其测量原理及方法按SJ/T 10694第6.9.3  条。

供连接腕带用的腕带连线，其端对端之间的电阻应符合表1规定，其测量原理及方法按 SJ/T 10694 第 6.9.2 条。

在使用腕带不方便的情况下,在使用鞋束（足跟带）进行人体防护接地。鞋束（足跟带）应由静电耗散材料制作,其系统电阻值应符合

   表1, 测量原理及方法按SJ/T 10694第6.10条。(详见标准全文)

4） 物品存放架、内部运输小车（物流车）应能通过支脚或轮子接地,它与工件接触的表面应由静电耗散材料制作。对地电阻和表 面（点对点）电阻值应符合表1。对地电阻的测量原理及方法按SJ/T 10694第6.8条。表面 (点对点）电阻的测量原理及方法按SJ/T 10694第6.4.1条。 (责任编辑：蚂蚁)