美国联邦标准 FED-STD-209E(洁净室等级标准) 国际标准 ISO14644-1:1999(E)(洁净室等级标准) 国家标准 GB50073-2001 (洁净厂房设计规范)
关于ISO:
ISO 为全球各国标准化团体(ISO会员团体)的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行,每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作。ISO与国际电工委员会(IEC)在电气技术标准化方面进行紧密合作。
国际标准ISO14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。
ISO14644在洁净室及相关受控环境的总标题下,由多个部分组成: (1)ISO14644-1 空气洁净度等级划分 (2)ISO14644-2 为认证ISO14644-1的 连续的相符性的测试和监测技术要求 (3)ISO14644-3 测试方法 (4)ISO14644-4 设计建造启动 (5)ISO14644-5 运行(Operations) (6)ISO14644-6 术语和定义 (7)ISO14644-7 分离装置(洁净空气罩、手套箱、分离器和微循环设备 (8)ISO14644-8 分子污染 (9)ISO14644-9 洁净化学品(液体)
相关标准链接:
静电喷涂工艺标准
(责任编辑:伊梦) |