为了维持洁净室的洁净度免受邻室的污染或污染邻室，在洁净室内维持某一个高于邻室或低于邻室的空气压力，是洁净室区别于一般空调房间的重要特点，也是净化 原理的重要组成部分。保持一定的正压值可以在门窗密闭的情况下，防止洁净室外的污染由缝隙渗入洁净室；在开启门窗时保证有足够的气流向外流动，尽量削减由开门动作和人的进出瞬时带来的气流量，并且在以后门开启状态下，保证气流方向是向外的，以便把带入的污染减小到最低程度。
       静压是由送风与回风、排风量之间的差值风量透过缝隙而产生，这个差值是由系统新风量来补偿的。因此，洁净区域内各室内的送风、回风、排风量和新风量的平衡 是维持各洁净室静压值的前提条件。根据洁净室的工艺要求设定室内合适的相对静压值，根据静压值确定室内的正压换气次数，计算正压渗透风量。由渗透风量和工 艺要求的排风量根据风量平衡原理计算得出新风量。新风量、渗透风量和排风量相互藕合，在正常运行时，它们都是定值。正压渗透风量越多、房间缝隙越小，所建 立的正压就越大。因此，实现相同静压要求时，加强围护结构气密性，减少补风量，可有效降低运行能耗。
       传统的压力控制思路比较简单，主要有:①机械式风阀—风阀调整送、回、排风量；②余压阀—根据室内外静压差调节阀门，改变渗透到走廊的风量；③压差传感 器。它们都通过压差信号完成对洁净室的压力控制，容易实现，然而由于压力信号具有滞后性，而且不易稳定。当前洁净室工艺要求不断提高，对控制的响应时间要 求越来越短，依靠压差信号的控制已不能满足准确快速的要求。流量追踪法较前面的方法更稳定准确，它采用室内控制器控制调节风门和流量测量传感器，调节房间新风量和排风量保持其差值稳定，从而实现室内静压值恒定。

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