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电子及半导体制造业者对静电释放与微粒污染损害所需付出的费用相当惊人，从统计资料中知悉，全球每年因静电释放(Electrostatic Discharge, ESD)所酿成之损坏成本负担估计高达9亿美元，有些专家认为实际上的损失还会更高。因此对于环境控制室(无尘室)的要求与品质与日俱僧。
由于无尘室内的空气通常须保持在相对湿度45%的干燥状态，因此容易产生静电；静电在半导体制程上诱发不良的作用主要有两大类，一为引发微粒污染，在各种无尘室的微粒污染源中占第五位，约5%另一为静电释放(ESD)，其所引发的失效率，在产品早期各种失效发生源中占首位，超过50%；为了克服静电释放的问题，许多制造商已着手研究各种静电控制计画，内容包括制程机仪及人体所产生的静电危害。
无尘室用静电释放防护衣着必须具有：
(1)静电／静电逸散
(2)微尘粒子产生机会低(低发尘量)
(3)织造强度够
(4)耐用性好
(5)抗特定化学药剂及
(6)穿著性舒适等特性。
目前抗静电无尘衣大都由人造长纤维织造。这些织物可以是针织、梭织或纺黏合方式织造。聚酯长纤是目前无尘室织物最主要之原料。为了使织物赋予持久性抗静电／静电逸散的效果，一般是于织造过程中嵌入(大概占织物重之0.1-0.5%)导电纱。这些导电纱通常在成品布上显现条或格子状样式(3-10mm，视最终用途而定)。
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(责任编辑：佚名) |
