(一)、洁净室的定义
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室Clean Room」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室绝不是仅限于“洁净”,不同的行业与部门对温度、湿度、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道多种专业与一体的产物,叫洁净室(或洁净厂房)。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
(二)、洁净室的构成
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:
(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或 U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气处理设备Air Handing Unit、空气输送设备、空气分配设备、冷热控制源、自动调节控制装置等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户 Windows、门 Door。
(4)地板:包括高架地板 Raise Floor 或防静电地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。
洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
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