自上世纪六十年代起，洁净室测试学科已经成为标准和推荐做法的成果的焦点。论述洁净室测试的最早的标准之一，是出版于1963年的美国联邦标准209 （FED-STD-209），它有一个非强制性的补充指导附录部分，专门针对洁净室的测试。这个标准的修订版A和修订版B在附录中也包含了洁净室的测试。对于如何进行洁净室的测试，还有许多私营企业或者公司的特定的程序。第一个在美国出现的涵盖了洁净室测试的推荐做法，是美国污染控制协会（A2C2）命名为“清洁室”的CS-6文献，它出版于1970年。随着美国污染控制协会合并到随后成立的环境科学协会（IES）中，这些文献也就成为IES的组成部分。

　　环境科学与技术协会（IEST）的污染控制部门，就是该协会早在1982年最先为编写推荐做法而成立的工作组（WG）。其中，最早成立的工作组之一是WG-CC006——洁净室测试。自该工作组创建至今，共刊印了三个文献，即1984年出版的IES-RP-CC-006-84T，1997年出版的IEST-RP-CC006.2和2004年出版的IEST RP-CC006.3。

　　ISO技术协会209 （ISO/TC 209）自1992年成立之日起，就已决定要逐渐形成一个包含洁净室测试的文献。结果是，1993年在ISO/TC 209内成立了工作组3，因此也就有了ISO 14644-3。