1.1范围

　　此标准适用于所有本篇所定义之无尘室及洁净区之半导体厂。

　　1.2目的

　　本标准旨在提供无尘室避免火灾及相关危害合理的安全防护，而这些防护措施可避免或减少  人员及财产之损害。

　　1.3应用

　　此标准所考虑是以合理的预防火灾及爆炸，避免造成人员伤亡及财产之损害，此时所需考虑之 环境状况及活动状态为本标准所讨论之重点；除非其它地方有所规范，否则本标准不用于要求已经安装完成设备除非在该状态下已造成生命危害或邻进近地区之财产损失。 (责任编辑：静电行业网)