高效率空气过滤器一般称为HEPA FILTER和ULPA FILTER也可称为绝对过滤器，此类过滤器通常用于终端之位置，其过滤对象为低浓度之微细粒子，且具有极高的捕集效率是维持无尘室内洁净度最重要的过滤器，其捕集尘埃的原理如下：

　　过滤原理：

　　在纤维层内纤维错综排列，形成无数网格。当某一尺寸的微粒沿着流线刚好运动到纤维表面附近时。假使从流线到纤维表面的距离等于或小于微粒半径，微粒就在纤维表面被拦截而沉积下来。

　　扩散捕捉原理：由于气体分子热运动对微粒的碰撞而产生的微粒的布朗运动，对于越小的微粒越显着。常温下0.1微米的微粒每秒钟扩散距离达17微米,比纤维间距离大几倍至十几倍,这就使微粒有更大的机会运动到纤维表面而沉积下来。

　　冲突原理或称为惯性原理：

　　空气在滤材纤维间流动时，因粒子之流动惯性力作用，急速冲击于纤维表面而附着，其通过滤材风速越快，效果越佳。

　　整体捕集效：冲突原理对于微尘粒径＞0.1微米以上者其捕信效率最高；扩散捕捉对于微尘粒径≤0.5微米以下之粒子具有较高之效率；而滤过原理则在三种捕集原理中，其捕捉之效率较低。

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