洁净室最主要的作用就是控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的千级别。 洁净室内的人是洁净室室内污染的重要来源。洁净室内几乎所有的微生物均是来自人。同时,人也是室内粒子和纤维的主要来源,人员污染物的产生量与活动量成正比。根据美国的测试数据显示,人静止不动时,每分钟产生的大于等于0.3μm的粒子约为10万个;人在活动时,身体、头、肩膀等每分钟可产生大于等于0.3μm的粒子约为1百万个;人的走动速度为3.6km/h时,每分钟产生的大于等于0.3μm的粒子约为5百万个。因此,必须尽可能减少洁净室人员活动所造成和传播污染,以确保室内洁净度及降低维护费用。 尽管人员穿着的洁净服比普通服装或工作服洁净的多,但服装上仍然存在粒子、纤维及微生物并且有可能因不当操作转移到所搬运的物品上。所以操作人员应注意防止让任何物品在产品的上方拖过。
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