(1)半导体和IC生产线上的静电,人穿尼龙衣、塑胶底鞋在地板上走动,人身会带7-8KV电压。
(2)玻璃纤维制成的晶体载料盒滑过聚丙烯桌面易产生10KV电。
(3)晶片装配线,晶片5KV,晶片装料盒35KV,工作服10KV,桌面10KV,有机玻璃盖8KV,石英晶体1.5KV,晶片托盘6KV。
(4)光刻间塑料地面500V-1000V,金属网格地面也是500V-1000V,扩散间塑料地面、瓷砖地面500V-1500V,塑料墙约700V,塑料顶棚0-1000V,铝板送风口、回风口500V-1000V,金属活动皮革椅面500V-3000V。
(5)半导体和IC生产线上的静电危害
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